Mikä on fotolitografia?
Fotolitografia on yksi tärkeimmistä prosesseista integroitujen piirien (IC-piirien tai sirujen) tuotannossa. Yksinkertaisesti sanottuna, se on prosessi piirikuvion kopioimiseksi alustalle käyttämällä fotomaskia ja fotoresistiä.
Alusta maalataan piidioksidieristekerrokselle ja fotoresistille. Fotoresisti voidaan liuottaa helposti kehittimellä sen jälkeen, kun se on altistettu UV-valolle, liuottamisen ja syövytyksen jälkeen piirikuvio jää alustalle.
Mikä on Photoresist? Miksi 500 nm:n UV-aallonpituuden täytyy estää?
Fotoresisti yhdistetään hartseihin, liuottimiin ja lisäaineisiin. Fotoresistin valoherkkä alue on 200 nm-500 nm. Siksi monet puolijohdelaboratoriot ottavat käyttöön keltaisen valon, joka estää 500 nm:n UV-aallonpituuden, jotta fotoresistin ylivalottuminen tai ennenaikaisesti altistuminen voidaan estää.
